Browsing by Subject rapid thermal annealing
Showing results 1 to 3 of 3
Issue Date | Title | Author(s) |
2020 | Влияние быстрой термической обработки подзатворного диэлектрика на параметры микросхем временных устройств | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А. |
2020 | Влияние временных режимов термообработки на микроструктуру системы Pt-Si | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Комаров, Ф. Ф.; Горушко, В. А. |
2020 | Электронномикроскопические исследования системы Pt-Si при ее быстрой термообработке | Солодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Комаров, Ф. Ф.; Горушко, В. А. |