Browsing by Subject микроэлектромеханические системы
Showing results 1 to 5 of 5
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2022 | Влияние условий анодирования на предел прочности свободных пленок анодного оксида алюминия | Шахвердиев, М. А.; Биран, С. А.; Гарифов, К. В.; Короткевич, Д. А.; Короткевич, А. В. |
| 2019 | Использование МЭМС датчика для модернизации компьютерного манипулятора | Мугако, С. П. |
| 2014 | Исследование чувствительности к механическим нагрузкам мембранных элементов МЭМС из анодированного алюминия | Биран, С. А.; Короткевич, Д. А.; Короткевич, А. В. |
| 2008 | Пленки нитрида кремния с низкими механическими напряжениями для микроэлектромеханических систем | Ковальчук, Н. С. |
| 2018 | Термическое инициирование реакций быстрого окисления наноструктурированного кремния | Лазарук, С. К.; Долбик, А. В.; Сычевич, А. С.; Лабунов, В. А. |
