Дата выпуска | Название | Автор(ы) |
2017 | 3D кремниевые фотонные структуры с оптическими межсоединениями через микроканальную пластину | Лазарук, С. К.; Лешок, А. А.; Долбик, А. В.; Высоцкий, В. Б.; Шведов, С. В.; Солодуха, В. А.; Лабунов, В.А. |
2011 | Исследование закономерностей протекания процессов горения и взрыва в пленках наноструктурированного пористого кремния и разработка микроактюаторов на основе энергии этих процессов : отчет о НИР (заключ.) | Лабунов, В. А.; Лазарук, С. К.; Долбик, А. В.; Кацуба, П. С. |
2015 | Исследование и разработка элементов чувствительных структур на основе оксидов титана и алюминия для электрохимических и мембранных биосенсоров : отчет о НИР (заключ.) | Лазарук, С. К.; Ореховская, Т. И.; Сафрошкина, И. В.; Долбик, А. В.; Меледина, М. В.; Молочко, Д. С. |
2016 | Исследование механического импульса, генерируемого при горении наноструктурированного кремния | Лазарук, С. К.; Долбик, А. В.; Высоцкий, В. Б.; Лабунов, В. А. |
2014 | Исследовать влияние технологических процессов изготовления элементов ИС на структурные и химические свойства наноструктурированного кремния и разработать микроэлектромеханические системы (МЭМС), использующие энергию горения и взрыва наноструктурированного кремния : отчет о НИР (заключ.) | Лазарук, С. К.; Долбик, А. В. |
2014 | Исследовать закономерности электрохимических процессов формирования канавок и отверстий с высоким аспектным числом внутри кремниевых подложек и разработать технологию создания трехмерных элементов интегральных микросхем на основе этих процессов : отчет о НИР (заключ.) | Лабунов, В. А.; Лазарук, С. К.; Долбик, А. В.; Кацуба, П. С.; Купреева, О. В. |
2016 | Междучиповые оптические межсоединения на основе кремниевых нано- и микроструктур | Лазарук, С. К.; Лешок, А. А.; Долбик, А. В.; Лабунов, В. А.; Высоцкий, В. Б.; Шведов, С. В. |
2003 | Микровзрыв в пористом кремнии для защиты информации при попытке несанкционированного доступа к кремниевым чипам | Долбик, А. В.; Ковалевский, А. А.; Лабунов, В. А.; Лазарук, С. К.; Унучек, Д. Н. |
2003 | Оптические межсоединения кремниевых чипов, как способ защиты компьютерной информации | Долбик, А. В.; Лабунов, В. А.; Лазарук, С. К.; Петрович, Е. Л.; Унучек, Д. Н. |
2016 | Оптические межсоединения между кремниевыми кристаллами на основе лавинных светоизлучающих диодов из наноструктурированного кремния | Лазарук, С. К.; Лешок, А. А.; Долбик, А. В.; Лабунов, В. А.; Солодуха, В. А.; Шведов, С. В. |
2012 | Разработать электронно-управляемый миниатюрный матричный реактивный двигатель на базе кремниевой MЭМС технологии : отчет о НИР (заключ.) | Бондаренко, В. П.; Долгий, Л. Н.; Лазарук, С. К.; Гиро, А. М.; Данилюк, А. Л.; Клышко, А. А.; Абрамов, К. И.; Долгий, А. Л.; Чубенко, Е. Б.; Редько, С. В.; Долбик, А. В. |
2016 | Разработать конструкцию и технологию изготовления компонент микроэлектромеханических систем (мэмс), использующих энергию горения наноструктурированного кремния : отчет о НИР (заключ.) | Лазарук, С. К.; Долбик, А. В.; Ореховская, Т. И. |
2016 | Разработать технологию изготовления кремниевых кристаллов со сквозными отверстиями и диэлектрической пленкой на внутренней поверхности для 2,5 d TSV межсоединений : отчет о НИР (заключ.) | Лабунов, В. А.; Лазарук, С. К.; Долбик, А. В.; Сасинович, Д. А.; Купреева, О. В. |
2015 | Увеличение механического импульса в микроэлектромеханических системах, использующих энергию горения нанопористого кремния | Долбик, А. В.; Зубов, А. Ю.; Крисевич, С. Н.; Сычевич, А. С.; Короткевич, А. В.; Лазарук, С. К.; Лабунов, В. А. |
6-июн-2017 | Электрическое инициирование реакций быстрого окисления наноструктурированного кремния | Лазарук, С. К.; Долбик, А. В.; Сычевич, А. С.; Лабунов, В. А. |
2017 | Электрохимическое заполнение микроотверстий при создании TSV-структур | Кушнер, Л. К.; Степанова, Л. И.; Кузьмар, И. И.; Хмыль, А. А.; Лазарук, С. К.; Долбик, А. В. |