Browsing by Subject microwave plasma
Showing results 1 to 9 of 9
Issue Date | Title | Author(s) |
2019 | Investigation of method of dynamic microwave power redistribution in a resonator-type plasmatron | Madveika, S. I.; Bordusov, S. V.; Zemlyakov, A. S.; Lushakova, M. S. |
2018 | Investigation of method of dynamic microwave power redistribution in a resonator-type plasmatron | Madveika, S. I.; Bordusov, S. V.; Zemlyakov, A.; Lushakova, M. S. |
2019 | Investigation of silicon wafers' influence on the local microwave power values in a resonator-type plasmatron | Madveika, S. I.; Bordusov, S. V.; Lushakova, M. S.; Tihon, O. I. |
2015 | Theoretical analysis of low vacuum microwave discharge exciting and maintaining conditions in resonator type plasmatron | Madveika, S. I.; Bordusov, S. V. |
2021 | Анализ конструктивных решений плазменных реакторов используемых при производстве изделий электронной техники | Лях, А. С. |
2022 | Анализ методики измерения СВЧ мощности активным зондом в СВЧ плазме | Кондратьева, В. А.; Тихон, О. И. |
2022 | Анализ технологии плазменной обработки полупроводниковых структур | Жаворонок, И. А.; Тихон, О. И. |
2013 | Вакуумно-плазменная СВЧ разрядная система резонаторного типа для плазмохимического удаления фоторезистивных слоев | Мадвейко, С. И. |
2021 | Исследование режимов работы трехфазного импульсного источника питания СВЧ магнетрона на плазменную нагрузку | Жаворонок, И. А.; Тихон, О. И. |