Skip navigation

Browsing by Subject rapid thermal annealing

Jump to: 0-9 A B C D E F G H I J K L M N O P Q R S T U V W X Y Z
А Б В Г Д Е Ж З И Й К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Ъ Ы Ь Э Ю Я
 
Showing results 1 to 3 of 3
Issue DateTitleAuthor(s)
2020Влияние быстрой термической обработки подзатворного диэлектрика на параметры микросхем временных устройствСолодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Горушко, В. А.
2020Влияние временных режимов термообработки на микроструктуру системы Pt-SiСолодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Комаров, Ф. Ф.; Горушко, В. А.
2020Электронномикроскопические исследования системы Pt-Si при ее быстрой термообработкеСолодуха, В. А.; Пилипенко, В. А.; Комаров, Ф. Ф.; Горушко, В. А.