Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item:
Title: Автоматический контроль микродефектов на полупроводниковых пластинах
Other Titles: Automatic Micro Defect Inspection on Semiconductor Wafers
Authors: Плебанович, В. И.
Plebanovich, V. I.
Keywords: публикации ученых
автоматический контроль
полупроводниковые пластины
automatic inspection
semiconductor wafers
Issue Date: 2015
Publisher: РИЦ «Техносфера», Россия
Citation: Плебанович, В. И. Автоматический контроль микродефектов на полупроводниковых пластинах / В. И. Плебанович // Электроника НТБ. – 2015. – №5. – С. 132 – 140.
Abstract: С переходом на субмикронные технологии количество дефектов растёт экспоненциально. Рассмотреть дефекты такого размера под микроскопом в видимом свете невозможно. Установка ЭМ-6429 для автоматического контроля микродефектов на пластинах с топологией, позволит решить многие проблемы, возникающие при изготовлении микросхем субмикронных размеров. Transfer to submicron technologies results in exponential defect growth. Visual inspection of defects of such a small size in visible light under the microscope is impossible. EM-6429 Automatic Patterned Wafer Micro Defect Inspection Tool is a solution to many problems resulting from IC fabrication of submicron size.
Appears in Collections:Публикации в изданиях других стран

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
11092.pdf5,27 MBAdobe PDFView/Open
Show full item record

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.