https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11142| Название: | Автоматический контроль микродефектов на полупроводниковых пластинах |
| Другие названия: | Automatic Micro Defect Inspection on Semiconductor Wafers |
| Авторы: | Плебанович, В. И. |
| Ключевые слова: | публикации ученых;автоматический контроль;микродефекты;полупроводниковые пластины;automatic inspection;microdefects;semiconductor wafers |
| Дата публикации: | 2015 |
| Издательство: | РИЦ «Техносфера» |
| Описание: | Плебанович, В. И. Автоматический контроль микродефектов на полупроводниковых пластинах / В. И. Плебанович // Электроника НТБ. – 2015. – №5. – С. 132 – 140. |
| Аннотация: | С переходом на субмикронные технологии количество дефектов растёт экспоненциально. Рассмотреть дефекты такого размера под микроскопом в видимом свете невозможно. Установка ЭМ-6429 для автоматического контроля микродефектов на пластинах с топологией, позволит решить многие проблемы, возникающие при изготовлении микросхем субмикронных размеров. |
| Аннотация на другом языке: | Transfer to submicron technologies results in exponential defect growth. Visual inspection of defects of such a small size in visible light under the microscope is impossible. EM-6429 Automatic Patterned Wafer Micro Defect Inspection Tool is a solution to many problems resulting from IC fabrication of submicron size. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11142 |
| Располагается в коллекциях: | Публикации в зарубежных изданиях |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.