https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11235| Title: | Конструкция и технология изготовления системы оптических межсоединений на основе наноструктурированного кремния |
| Authors: | Лазарук, С. К. Лешок, А. А. Высоцкий, В. Б. Борисенко, В. Е. |
| Keywords: | публикации ученых;интегральные оптические межсоединения;композиционная пленка алюминия;контакт Шоттки |
| Issue Date: | 2016 |
| Publisher: | издательство Политехнического университета |
| Citation: | Лазарук, С. К. Конструкция и технология изготовления системы оптических межсоединений на основе наноструктурированного кремния / С. К. Лазарук и другие // Аморфные и микрокристаллические полупроводники: Сборник трудов Х Международной конференции ( Санкт-Петербург, 4 -7 июля 2016 г. ). - Санкт-Петербург, 2016. - С. 207-208. |
| Abstract: | Разработана и изготовлена экспериментальная структура интегральных оптических межсоединений на кремниевом кристалле, а также исследованы ее характеристики. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/11235 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| konstit.pdf | 191.95 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.