| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Бордусов, С. В. | - |
| dc.contributor.author | Мадвейко, С. И. | - |
| dc.contributor.author | Достанко, А. П. | - |
| dc.date.accessioned | 2014-11-25T08:19:28Z | |
| dc.date.accessioned | 2017-07-19T09:26:42Z | - |
| dc.date.available | 2014-11-25T08:19:28Z | |
| dc.date.available | 2017-07-19T09:26:42Z | - |
| dc.date.issued | 2014 | - |
| dc.identifier.citation | Бордусов, С. В. Процесс СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин. // Международная научно-техническая конференция, приуроченная к 50-летию МРТИ-БГУИР (Минск, 18-19 марта 2014 года) : материалы конф. В 2 ч. Ч. 2. - Минск, 2014. - С. 192-193 | ru_RU |
| dc.identifier.isbn | 978-985-543-038-5 | - |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1674 | - |
| dc.description.abstract | Представлены результаты исследований процесса СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин, который заключается в предварительном нагреве полупроводниковых пластин СВЧ энергией. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | материалы конференций | ru_RU |
| dc.subject | СВЧ разряд | ru_RU |
| dc.subject | СВЧ плазмохимическая обработка | ru_RU |
| dc.title | Процесс СВЧ плазмохимического удаления фоторезиста с поверхности кремниевых пластин | ru_RU |
| dc.type | Article | ru_RU |
| Appears in Collections: | Секция «Высокоэнергетические пучковые технологии и прецизионное оборудование в производстве изделий электроники и оптики»
|
