Skip navigation
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1954
Название: Методы повышения надежности омических контактов в дисплейных МЭМС на основе алюмооксидной технологии
Другие названия: Methods of increasing of ohmic contacts reliability for displeys mems on a basis of aluminum–oxide technology
Авторы: Тымощик, А. С.
Черных, А. Г.
Волчек, С. А.
Ключевые слова: доклады БГУИР
алюмооксидная технология
сплавы алюминия
редкоземельные металлы
микродисплейные устройства
омический контакт
Дата публикации: 2011
Издательство: БГУИР
Библиографическое описание: Тымощик, А. С. Методы повышения надежности омических контактов в дисплейных МЭМС на основе алюмооксидной технологии / А. С. Тымощик, А. Г. Черных, С. А. Волчек // Доклады БГУИР. - 2011. - № 4 (58). - С. 63 - 68.
Краткий осмотр (реферат): В работе рассматриваются вопросы повышения надежности омических контактов металлических слоев к мелкозалегающим p–n-переходам при высокой интеграции дисплейных оптических МЭМС-элементов, изготавливаемых по алюмооксидной технологии с управляющей схемой на едином кристалле. Показано, что добавки редкоземельных металлов, в частности гольмия, в кремнийсодержащие пленки алюминия оказывают на них модифицирующее действие. Введение редкоземельных металлов резко снижает вероятность образования ямок травления, делая возможным создание контактов к мелкозалегающим p–n-переходам с малыми размерами контактного окна.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/1954
Располагается в коллекциях:№4 (58)

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Tymoshchik_Metody.PDF2,48 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.