https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2007| Title: | Исследование закономерностей формирования германосиликатного стекла в процессе термической обработки поликристаллических пленок кремния, легированных германием |
| Other Titles: | Regularities in formation of germanosilicate glass during heat treatment of polycrystalline silicon films doped with germanium |
| Authors: | Строгова, Н. С. Строгова, А. С. Ковалевский, А. А. Цыбульский, В. В. Власукова, Л. А. Борисевич, В. М. |
| Keywords: | доклады БГУИР;германосиликатное стекло;кремний;германий;нанокластеры;термическая обработка |
| Issue Date: | 2011 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Исследование закономерностей формирования германосиликатного стекла в процессе термической обработки поликристаллических пленок кремния, легированных германием / Н. С. Строгова [и др.] // Доклады БГУИР. - 2011. - № 6 (60). - С. 56 - 61. |
| Abstract: | Исследован процесс формирования и свойств пленок германосиликатного стекла в процессе окисления пленок наноструктурированного поликристаллического кремния, легированного германием. Приведен химический состав пленок ГСС и его фазовые превращения в результате термического воздействия. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2007 |
| Appears in Collections: | №6 (60) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Strogova_Issledovaniye.PDF | 1.37 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.