Skip navigation

Поиск


Текущие фильтры:

Начать новый поиск
Добавить фильтры:

Используйте фильтры для уточнения результатов поиска.


Результаты 1-3 из 3.
  • назад
  • 1
  • дальше
Найденные ресурсы:
Дата выпускаНазваниеАвтор(ы)
2014Исследовать закономерности электрохимических процессов формирования канавок и отверстий с высоким аспектным числом внутри кремниевых подложек и разработать технологию создания трехмерных элементов интегральных микросхем на основе этих процессов : отчет о НИР (заключ.)Лабунов, В. А.; Лазарук, С. К.; Долбик, А. В.; Кацуба, П. С.; Купреева, О. В.
2011Исследование закономерностей протекания процессов горения и взрыва в пленках наноструктурированного пористого кремния и разработка микроактюаторов на основе энергии этих процессов : отчет о НИР (заключ.)Лабунов, В. А.; Лазарук, С. К.; Долбик, А. В.; Кацуба, П. С.
2016Разработать технологию изготовления кремниевых кристаллов со сквозными отверстиями и диэлектрической пленкой на внутренней поверхности для 2,5 d TSV межсоединений : отчет о НИР (заключ.)Лабунов, В. А.; Лазарук, С. К.; Долбик, А. В.; Сасинович, Д. А.; Купреева, О. В.