05.27.06 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
: [44]
Collection home page
Collection's Items (Sorted by Submit Date in Descending order): 21 to 40 of 44
| Issue Date | Title | Author(s) |
| 2005 | Технология получения гранулированного кремния из моносилана в реакторе кипящего слоя | Кайдов, О. Л. |
| 2007 | Формирование водосодержащих силикагелевых и бентонитовых материалов для высокостабильных экранов электромагнитного излучения | Занг, Фан Нъят |
| 2002 | Интегрированные ионно-плазменные процессы формирования тонкопленочных структур на рельефных поверхностях | Завадский, С. М. |
| 2004 | Формирование легированных оксидов титана термолизом алкоксисоединений для компонентов электронной техники | Молодечкина, Т. В. |
| 2006 | Двухкоординатная система перемещений для сборочного оборудования производства изделий микроэлектроники | Азентани, Дау Мохамед |
| 2006 | Методы и средства формирования программируемых движений в оборудовании производства изделий микроэлектроники | Дайняк, И. В. |
| 2001 | Формирование слоев аморфного гидрогенизированного кремния в силансодержащей плазме комбинированного разряда | Грунский, Д. И. |
| 2002 | Ионно-плазменные системы для формирования слоев сверхтвердых материалов в условиях ионного ассистирования | Голосов, Д. А. |
| 2002 | Построение систем перемещений на основе двухкоординатных позиционеров для гибкого автоматизированного оборудования | Степанов, С. Е. |
| 2012 | Прозрачные наносетчатые алюминиевые пленки с рельефной поверхностью для элементов и устройств оптоэлектроники | Степанов, А. А. |
| 2002 | Фторидно-гидридная технология получения поликристаллического солнечного кремния из продуктов переработки апатитов | Степаненко, Н. В. |
| 2006 | Оборудование и технологический процесс получения моносилана из продуктов переработки апатитов для производства поликристаллического кремния | Васюков, А. В. |
| 2003 | Технология создание гибких конструкций широкополосных экранов электромагнитного излучения | Борботько, Т. В. |
| 2000 | Композитные металлсодержащие волокнистые материалы для гибких экранов электромагнитного излучения | Богуш, В. А. |
| 2006 | Формирование золь-гель методом легированных медью силикатных покрытий и стекол для элементов нелинейной оптики | Алексеенко, А. А. |
| 2007 | Формирование композиционных углеродсодержащих покрытий прецизионной технологической оснастки и инструмента для производства изделий электронной техники | Саян, Н. И. |
| 2007 | Система прецизионных пространственных перемещений на основе планарных приводов прямого действия для оборудования производства изделий электронной техники | Агранович, А. А. |
| 2002 | Методы автоматического контроля топологии планарных структур и их реализация в электронном машиностроении | Аваков, С. М. |
| 2012 | Реконфигурируемые механизмы параллельной кинематики для многокоординатных систем перемещений в сборочном и оптико-механическом оборудовании микроэлектроники | Литвинов, Е. А. |
| 2003 | Формирование серебрянных покрытий с упрочняющей фазой из ультрадисперсных алмазов | Кузьмар, И. И. |
Collection's Items (Sorted by Submit Date in Descending order): 21 to 40 of 44
