https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2330
Название: | Лабораторный практикум по дисциплинам «Технология изделий интегральной электроники», «Специальное технологическое оборудование» для студентов специальностей «Проектирование и производство РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии». Ч. 3. |
Авторы: | Емельянов, В. А. Ануфриев, Л. П. Достанко, А. П. Бордусов, С. В. Гурский, Л. И. Ланин, В. Л. Турцевич, А. С. Соловьев, Я. А. Портнов, Л. Я. Коробко, А. О. Король, И. П. Борисик, А. В. Осипов, А. А. |
Ключевые слова: | лабораторные практикумы;изделия интегральной электроники;технологическое оборудование |
Дата публикации: | 2007 |
Издательство: | Интегралполиграф |
Описание: | Емельянов, В. А. Лабораторный практикум по дисциплинам «Технология изделий интегральной электроники», «Специальное технологическое оборудование» для студентов специальностей «Проектирование и производство РЭС», «Электронно-оптические системы и технологии». Ч. 3. / В. А. Емельянов и др.; под ред. А. П. Достанко. – Минск : Интегралполиграф, 2007. –76 с. : ил. |
Аннотация: | Лабораторный практикум включает в себя исследования процессов формирования конфигурации элементов интегральных схем на поверхности полупроводниковых пластин проекционной литографией на установке ЭМ 584А, процессов ионно-лучевого, термовакуумного, катодного, магнетронного нанесения тонких пленок, а также герметизации интегральных схем в пластмассовые корпуса . Предназначен для закрепления и углубления теоретических знаний, приобретения практических навыков работы с технологическим оборудованием и приборами контроля параметров кремниевых структур. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/2330 |
Располагается в коллекциях: | Кафедра электронной техники и технологии |
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Emelyanov_Ch3.pdf | 7.75 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.