https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/25128| Title: | Декорирование кремниевых структур методом химического осаждения меди на пористый кремний |
| Other Titles: | Decoration of silicon structures by chemical deposition of nanostructured copper films on porous silicon |
| Authors: | Рощин, Л. Ю. Бондаренко, А. В. |
| Keywords: | доклады БГУИР;мезопористый кремний;наноструктурированные пленки меди;химическое осаждение;porous silicon;nanostructured copper films;chemical deposition |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Рощин, Л. Ю. Декорирование кремниевых структур методом химического осаждения меди на пористый кремний / Л. Ю. Рощин, А. В. Бондаренко // Доклады БГУИР. - 2017. - № 4 (106). - С. 37 - 42. |
| Abstract: | Представлены результаты, отражающие основные аспекты экспериментальных исследований по выявлению закономерностей формирования и изучению структурных и оптических свойств наноструктурированных пленок меди, получаемых методом химического осаждения на пористый кремний из растворов солей меди и фтористоводородной кислоты для их применения в процессе декорирования поверхности кремниевых структур. |
| Alternative abstract: | The results of experimental study of formation regularities, structural and optical properties of nanostructured copper films chemically deposited on porous silicon from solutions of copper sulfate and hydrofluoric acid are presented. Application of the developed solution for the copper deposition on porous silicon in the decoration process of silicon structures are demonstrated. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/25128 |
| Appears in Collections: | №4 (106) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Roshchin_Dekorirovaniye.PDF | 1.27 MB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.