Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26719
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorНелаев, В. В.-
dc.contributor.authorСтемпицкий, В. Р.-
dc.date.accessioned2017-10-17T12:06:20Z-
dc.date.available2017-10-17T12:06:20Z-
dc.date.issued2002-
dc.identifier.citationНелаев, В. В. Статистический анализ и оптимизация технологических параметров изготовления интегральных микросхем: учебно-метод. пособие для курсов лекций и лабораторных работ по дисциплинам "Расчет и проектирование элементов ин тегральных схем и полупроводниковых приборов", "Основы САПР в микро электронике", "Моделирование технологических процессов микроэлектроники" для студентов специальности 41 01 02 "Микроэлектроника" / В. В. Нелаев, B. Р. Стемпицкий.- Минск: БГУИР, 2002. - 40 с: ил.ru_RU
dc.identifier.isbn985-444-348-5.-
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26719-
dc.description.abstractПриведено описание компьютерной учебной программы для многофакторного статистического проектирования технологии изготовления интегральных микросхем (ИМС) с учетом влияния флуктуации технологических параметров на характеристики проектируемой схемы, основанное на использовании метода поверхности откликов в процедуре аппроксимации результатов технологического процесса. Представлена соответствующая инструкция пользования программой.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectучебно-методические пособияru_RU
dc.subjectстатистический анализru_RU
dc.subjectпроцессы микроэлектроникиru_RU
dc.titleСтатистический анализ и оптимизация технологических параметров изготовления интегральных микросхем: учебно-метод. пособие для курсов лекций и лабораторных работ по дисциплинам "Расчет и проектирование элементов ин тегральных схем и полупроводниковых приборов", "Основы САПР в микро электронике", "Моделирование технологических процессов микроэлектроники" для студентов специальности 41 01 02 "Микроэлектроника"ru_RU
dc.typeКнигаru_RU
Appears in Collections:Кафедра микро- и наноэлектроники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Nelaev_2002.pdf28.78 MBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.