Skip navigation
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26720
Название: Технологическое проектирование интегральных схем. Программа SSuprem 4: учеб. пособие для курсов лекций и лаб. работ по дисц. “Расчет и проектирование элементов интегральных схем и полупроводниковых приборов”, “Основы САПР в микроэлектронике”, “Моделирование технологических процессов микроэлектроники” для студ. спец. 41 01 02 “Микро- и наноэлектронные технологии и системы”, 41 01 03 “Квантовые информационные системы” всех форм обучения
Авторы: Нелаев, В. В.
Стемпицкий, В. Р.
Ключевые слова: учебно-методические пособия
компьютерное моделирование
микроэлектроника
Дата публикации: 2004
Издательство: БГУИР
Библиографическое описание: Нелаев В. В. Технологическое проектирование интегральных схем. Программа SSuprem 4: учеб. пособие для курсов лекций и лаб. работ по дисц. “Расчет и проектирование элементов интегральных схем и полупроводниковых приборов”, “Основы САПР в микроэлектронике”, “Моделирование технологических процессов микроэлектроники” для студ. спец. 41 01 02 “Микро- и наноэлектронные технологии и системы”, 41 01 03 “Квантовые информационные системы” всех форм обучения / В. В. Нелаев, В. Р. Стемпицкий.- Минск: БГУИР, 2004.- 102 c.: ил.
Краткий осмотр (реферат): В пособии приведено описание физических моделей, используемых в программном комплексе ATHENA фирмы Silvaco для компьютерного моделирования, проектирования и оптимизации технологических процессов формирования приборов микроэлектроники, а также технологического маршрута изготовления интегральной схемы в целом.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26720
ISBN: 985-444-556-9
Располагается в коллекциях:Кафедра микро и наноэлектроники

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Nelaev_2004.pdf2,54 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.