https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26720| Название: | Технологическое проектирование интегральных схем. Программа SSuprem 4: учеб. пособие для курсов лекций и лаб. работ по дисц. “Расчет и проектирование элементов интегральных схем и полупроводниковых приборов”, “Основы САПР в микроэлектронике”, “Моделирование технологических процессов микроэлектроники” для студ. спец. 41 01 02 “Микро- и наноэлектронные технологии и системы”, 41 01 03 “Квантовые информационные системы” всех форм обучения |
| Авторы: | Нелаев, В. В. Стемпицкий, В. Р. |
| Ключевые слова: | учебно-методические пособия;компьютерное моделирование;микроэлектроника |
| Дата публикации: | 2004 |
| Издательство: | БГУИР |
| Описание: | Нелаев В. В. Технологическое проектирование интегральных схем. Программа SSuprem 4: учеб. пособие для курсов лекций и лаб. работ по дисц. “Расчет и проектирование элементов интегральных схем и полупроводниковых приборов”, “Основы САПР в микроэлектронике”, “Моделирование технологических процессов микроэлектроники” для студ. спец. 41 01 02 “Микро- и наноэлектронные технологии и системы”, 41 01 03 “Квантовые информационные системы” всех форм обучения / В. В. Нелаев, В. Р. Стемпицкий.- Минск: БГУИР, 2004.- 102 c.: ил. |
| Аннотация: | В пособии приведено описание физических моделей, используемых в программном комплексе ATHENA фирмы Silvaco для компьютерного моделирования, проектирования и оптимизации технологических процессов формирования приборов микроэлектроники, а также технологического маршрута изготовления интегральной схемы в целом. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/26720 |
| ISBN: | 985-444-556-9 |
| Располагается в коллекциях: | Кафедра микро- и наноэлектроники |
| Файл | Описание | Размер | Формат | |
|---|---|---|---|---|
| Nelaev_2004.pdf | 2.54 MB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.