Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27759
Title: Исследовать закономерности электрохимических процессов формирования канавок и отверстий с высоким аспектным числом внутри кремниевых подложек и разработать технологию создания трехмерных элементов интегральных микросхем на основе этих процессов : отчет о НИР (заключ.)
Authors: Лабунов, В. А.
Лазарук, С. К.
Долбик, А. В.
Кацуба, П. С.
Купреева, О. В.
Issue Date: 2014
Publisher: БГУИР
Citation: Исследовать закономерности электрохимических процессов формирования канавок и отверстий с высоким аспектным числом внутри кремниевых подложек и разработать технологию создания трехмерных элементов интегральных микросхем на основе этих процессов : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель В. А. Лабунов ; отв. исполнитель С. К. Лазарук . – Минск, 2014. – 58 с. - № ГР 20120761
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27759
Appears in Collections:Отчеты о НИР 2014

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
№ ГР 20120761 (11-306).pdf8,44 MBAdobe PDFView/Open Request a copy
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.