https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27759
Название: | Исследовать закономерности электрохимических процессов формирования канавок и отверстий с высоким аспектным числом внутри кремниевых подложек и разработать технологию создания трехмерных элементов интегральных микросхем на основе этих процессов : отчет о НИР (заключ.) |
Авторы: | Лабунов, В. А. Лазарук, С. К. Долбик, А. В. Кацуба, П. С. Купреева, О. В. |
Дата публикации: | 2014 |
Издательство: | БГУИР |
Описание: | Исследовать закономерности электрохимических процессов формирования канавок и отверстий с высоким аспектным числом внутри кремниевых подложек и разработать технологию создания трехмерных элементов интегральных микросхем на основе этих процессов : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель В. А. Лабунов ; отв. исполнитель С. К. Лазарук . – Минск, 2014. – 58 с. - № ГР 20120761 |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27759 |
Располагается в коллекциях: | Отчеты о НИР 2014 |
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
№ ГР 20120761 (11-306).pdf Restricted Access | 8.44 MB | Adobe PDF | Открыть Запрос копии |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.