Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27759
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorЛабунов, В. А.-
dc.contributor.authorЛазарук, С. К.-
dc.contributor.authorДолбик, А. В.-
dc.contributor.authorКацуба, П. С.-
dc.contributor.authorКупреева, О. В.-
dc.date.accessioned2017-11-16T06:26:38Z-
dc.date.available2017-11-16T06:26:38Z-
dc.date.issued2014-
dc.identifier.citationИсследовать закономерности электрохимических процессов формирования канавок и отверстий с высоким аспектным числом внутри кремниевых подложек и разработать технологию создания трехмерных элементов интегральных микросхем на основе этих процессов : отчет о НИР (заключ.) / БГУИР ; научный руководитель В. А. Лабунов ; отв. исполнитель С. К. Лазарук . – Минск, 2014. – 58 с. - № ГР 20120761ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/27759-
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.titleИсследовать закономерности электрохимических процессов формирования канавок и отверстий с высоким аспектным числом внутри кремниевых подложек и разработать технологию создания трехмерных элементов интегральных микросхем на основе этих процессов : отчет о НИР (заключ.)ru_RU
dc.typeОтчеты о НИРru_RU
Appears in Collections:Отчеты о НИР 2014

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
№ ГР 20120761 (11-306).pdf8,44 MBAdobe PDFView/Open Request a copy
Show simple item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.