https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28663| Title: | Оборудование и технологии удаления загрязнений с поверхности кремниевых пластин |
| Authors: | Баранов, В. В. Скопцов, А. М. Врабий, Э. М. Шахлевич, Г. М. |
| Keywords: | публикации ученых;химическая обработка;кремниевая подложка;технологическое оборудование;инфракрасный нагрев;энерго- и материалосбережение |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | БНТУ |
| Citation: | Оборудование и технологии удаления загрязнений с поверхности кремниевых пластин / В. В. Баранов и другие // Приборостроение –2017: материалы 10-й Междунар. научно-технической конференции, Минск, 1–3 ноября 2017 г. – Минск : БНТУ, 2017. - С. 293-295. |
| Abstract: | Химическая обработка с помощью реактива Каро и водного раствора перекиси водорода с аммиаком при финишной очистке поверхности полупроводниковых пластин дли-тельная и энергоемкая. Описаны экспериментальный образец обору-дования и технология финишной обработки кремниевых пластин, отличающиеся пониженным расхо-дом дорогостоящих реактивов и повышенной энергоэффективностью за счет использования инфракрас-ного нагрева и термостатирования ванны. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/28663 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Skoptsov_Oborudovaniye.pdf | 333.81 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.