https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29058
Название: | Calculating and modeling of integrated displacement systems for precision equipment of micro- and nanoelectronics |
Авторы: | Dainiak, I. V. Kuznetsov, V. Karpovich, S. E. |
Ключевые слова: | материалы конференций;integrated displacement systems;precision equipment;microelectronics;nanoelectronics |
Дата публикации: | 2017 |
Издательство: | БГУИР |
Описание: | Dainiak, I. Calculating and modeling of integrated displacement systems for precision equipment of micro- and nanoelectronics / I. Dainiak, V. Kuznetsov, S. Karpovich // Nano-design, technology, computer simulations : proceedings of 17th International workshop on new approaches to high –tech (26-27 October, 2017). – Minsk : BSUIR, 2017. – С. 161 - 164. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29058 |
Располагается в коллекциях: | NDTCS 2017 |
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Dainiak_Calculating.PDF | 403.44 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.