Please use this identifier to cite or link to this item:
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29155
| Title: | Сенсорные элементы микроэлектромеханических систем на основе анодного оксида алюминия |
| Authors: | Куцанов, А. В. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;сенсорные элементы;микроэлектромеханические системы;анодный оксид алюминия |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Куцанов, А. В. Сенсорные элементы микроэлектромеханических систем на основе анодного оксида алюминия : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 03 / А. В. Куцанов ; науч. рук. А. В. Короткевич. - Минск : БГУИР, 2017. - 10 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29155 |
| Appears in Collections: | 1-41 80 03 Нанотехнологии и наноматериалы (в электронике)
|
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.
