https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29157| Title: | Формирование микроизображений методом бесшаблонной иммерсионной литографии |
| Authors: | Рымко, В. М. |
| Keywords: | материалы конференций;микроизображения;бесшаблонная иммерсионная литография |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Рымко, В. М. Формирование микроизображений методом бесшаблонной иммерсионной литографии : автореф. дисс. ... магистра технических наук : I-41 80 03 / В. М. Рымко ; науч. рук. А. Г. Черных. - Минск : БГУИР, 2017. - 6 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29157 |
| Appears in Collections: | 1-41 80 03 Нанотехнологии и наноматериалы (в электронике) |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.