https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29372| Title: | Роль исходной поверхности подложки при формировании нанокластеров кремния |
| Authors: | Ковалевский, А. А. Строгова, А. С. Гранько, С. В. |
| Keywords: | публикации ученых;энергетический потенциал;наноостровки;моносилан;адатомы;нитрид кремния;аморфный кремний;германий;нанокластеры |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | Севастопольский государственный университет |
| Citation: | Ковалевский, А. А. Роль исходной поверхности подложки при формировании нанокластеров кремния / А. А. Ковалевский, А. С. Строгова, С. В. Гранько // Microwave & Telecommunication Technology: 27 th International Conference (CriMiCo’2017) (Sevastopol, September 10 – 16, 2017). – Sevastopol, 2017. – С. 1036 – 1041. |
| Abstract: | Проведен анализ и поиск новых перспективных материалов для подзатворного диэлектрика и затвора МДП структур для Flash EEPROM, изучены особенности структурирования базовых элементов на основе нанокластеров кремния, германия и твердого раствора кремний-германия от условий их получения, которые определяют возможность управления электрофизическими параметрами МДП структур. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29372 |
| Appears in Collections: | Публикации в зарубежных изданиях |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kovalevskiy_Rol.pdf | 153.53 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.