https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29401| Title: | СВЧ плазмотрон средней мощности для травления полупроводниковых материалов |
| Authors: | Тихон, О. И. |
| Keywords: | авторефераты диссертаций;СВЧ плазмотрон средней мощности;травление полупроводниковых материалов |
| Issue Date: | 2017 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Тихон, О. И. СВЧ плазмотрон средней мощности для травления полупроводниковых материалов : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 02 / О. И. Тихон ; науч. рук. С. И. Мадвейко. - Минск : БГУИР, 2017. - 10 с. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29401 |
| Appears in Collections: | 1-41 80 02 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.