Skip navigation
DSpace logo
  1. Репозиторий БГУИР
  2. Авторефераты диссертаций и отчеты о НИР
  3. Авторефераты магистерских диссертаций
  4. 1-41 80 02 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29401
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorТихон, О. И.-
dc.date.accessioned2018-01-18T13:33:22Z-
dc.date.available2018-01-18T13:33:22Z-
dc.date.issued2017-
dc.identifier.citationТихон, О. И. СВЧ плазмотрон средней мощности для травления полупроводниковых материалов : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 02 / О. И. Тихон ; науч. рук. С. И. Мадвейко. - Минск : БГУИР, 2017. - 10 с.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29401-
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectавторефераты диссертацийru_RU
dc.subjectСВЧ плазмотрон средней мощностиru_RU
dc.subjectтравление полупроводниковых материаловru_RU
dc.titleСВЧ плазмотрон средней мощности для травления полупроводниковых материаловru_RU
dc.typeАвторефератru_RU
Appears in Collections:1-41 80 02 Технология и оборудование для производства полупроводников, материалов и приборов электронной техники

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Tihon.pdf798.53 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.