Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29411
Название: | Ионно-оптическая система мультипольного многоапертурного ионно- лучевого источника для нанопокрытий |
Авторы: | Курапцова, А. А. |
Ключевые слова: | авторефераты диссертаций;ионно-оптическая система;мультипольный многоапертурный ионно-лучевой источник;нанопокрытия |
Дата публикации: | 2017 |
Издательство: | БГУИР |
Описание: | Курапцова, А. А. Ионно-оптическая система мультипольного многоапертурного ионно- лучевого источника для нанопокрытий : автореф. дисс. ... магистра технических наук : 1-41 80 03 / А. А. Курапцова ; науч. рук. Ю. А. Родионов. - Минск : БГУИР, 2017. - 7 с. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/29411 |
Располагается в коллекциях: | 1-41 80 03 Нанотехнологии и наноматериалы (в электронике)
|
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.