https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30713
Название: | Исследование и оптимизация процесса осаждения пленок поликристаллического кремния, легированного германием как изовалентной примесью |
Другие названия: | Investigation and optimization of the deposition process of polycrystalline silicon films doped by germanium as an isovalent impurity |
Авторы: | Борисевич, В. М. Ковалевский, А. А. Нелаев, В. В. Малышев, В. С. Стемпицкий, В. Р. |
Ключевые слова: | доклады БГУИР;кинетика;изовалентная примесь;скорость осаждения;удельное электрическое сопротивление;аппроксимация;оптимизация |
Дата публикации: | 2004 |
Издательство: | БГУИР |
Описание: | Исследование и оптимизация процесса осаждения пленок поликристаллического кремния, легированного германием как изовалентной примесью / В. М. Борисевич и другие // Доклады БГУИР. - 2004. - № 3 (7). - С. 139 - 151. |
Аннотация: | Проведено экспериментальное исследование кинетики роста пленок поликристаллического кремния, легированных изовалентной примесью — германием. Установлены закономерности влияния основных технологических параметров процесса на скорость роста и удельное электрическое сопротивление пленок. Тонкие пленки поликристаллического кремния, легированные германием и выращенные при температуре 6200 С, при пониженном давлении обладают лучшими структурно-морфологическими свойствами по сравнению с нелегированными пленками. На основании экспериментальных результатов получена аппроксимационная зависимость скорости осаждения, удельного электрического сопротивления от условий разложения моногидридов и состава газовой смеси. Приведены результаты решения задачи оптимизации значимых параметров исследованного процесса. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30713 |
Располагается в коллекциях: | №3 (7) |
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Borisevich_Investigation.pdf | 781.61 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.