Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30731
Title: Методы и средства моделирования и проектирования технологических процессов микроэлектроники
Other Titles: Methods and tools for simulation and design of technology processes in microelectronics
Authors: Нелаев, В. В.
Nelayev, V. V.
Keywords: доклады БГУИР
упругий континуум
молекулярная динамика
статистический анализ
неразрушающий контроль
Issue Date: 2004
Publisher: БГУИР
Citation: Нелаев, В. В. Методы и средства моделирования и проектирования технологических процессов микроэлектроники / В. В. Нелаев // Доклады БГУИР. - 2004. - № 3 (7). - С. 62 - 72.
Abstract: Приведены результаты исследований методами молекулярной динамики и механики сплошных сред физических закономерностей и механизмов формирования пространствен- ного распределения дефектов и примесных атомов в радиационно-термических технологи- ческих процессах микроэлектроники. Описаны разработанные физические модели и алго- ритмы для моделирования процессов диффузионного перераспределения примесных атомов при термообработке и окислении монокристаллического кремния, а также газофазного оса- ждения поликристаллического кремния, определяющие многомерное распределение приме- сей и модификацию поверхности при изготовлении субмикронных элементов интегральных микросхем. Представлены модели и алгоритмы для осуществления неразрушающего вос- становления распределения примесей в полупроводниковых структурах с использованием результатов ИК спектрофотометрических измерений. Описано решение задачи многофак- торного статистического анализа в цикле Монте-Карло влияния флуктуаций технологиче- ских параметров на выходные характеристики проектируемых приборов/схем и оптимиза- ции этих параметров. Сформулирована реализованная концепция виртуальной лаборатории в сети Интернет для коллективного проектирования технологии интегральных схем удален- ными разработчиками и для дистанционного обучения.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30731
Appears in Collections:№3 (7)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Nelayev_Methods.pdf574,02 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.