Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс:
https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30731
Название: | Методы и средства моделирования и проектирования технологических процессов микроэлектроники |
Другие названия: | Methods and tools for simulation and design of technology processes in microelectronics |
Авторы: | Нелаев, В. В. |
Ключевые слова: | доклады БГУИР;упругий континуум;молекулярная динамика;статистический анализ;неразрушающий контроль |
Дата публикации: | 2004 |
Издательство: | БГУИР |
Описание: | Нелаев, В. В. Методы и средства моделирования и проектирования технологических процессов микроэлектроники / В. В. Нелаев // Доклады БГУИР. - 2004. - № 3 (7). - С. 62 - 72. |
Аннотация: | Приведены результаты исследований методами молекулярной динамики и механики
сплошных сред физических закономерностей и механизмов формирования пространствен-
ного распределения дефектов и примесных атомов в радиационно-термических технологи-
ческих процессах микроэлектроники. Описаны разработанные физические модели и алго-
ритмы для моделирования процессов диффузионного перераспределения примесных атомов
при термообработке и окислении монокристаллического кремния, а также газофазного оса-
ждения поликристаллического кремния, определяющие многомерное распределение приме-
сей и модификацию поверхности при изготовлении субмикронных элементов интегральных
микросхем. Представлены модели и алгоритмы для осуществления неразрушающего вос-
становления распределения примесей в полупроводниковых структурах с использованием
результатов ИК спектрофотометрических измерений. Описано решение задачи многофак-
торного статистического анализа в цикле Монте-Карло влияния флуктуаций технологиче-
ских параметров на выходные характеристики проектируемых приборов/схем и оптимиза-
ции этих параметров. Сформулирована реализованная концепция виртуальной лаборатории
в сети Интернет для коллективного проектирования технологии интегральных схем удален-
ными разработчиками и для дистанционного обучения. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30731 |
Располагается в коллекциях: | №3 (7)
|
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.