Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30739
Title: Электрохимическая технология микро- и наноэлектронных устройств
Other Titles: Electrochemical technology for micro- and nanoelectron devices
Authors: Сокол, В. А.
Sokol, V. A.
Keywords: доклады БГУИР
анодирование
алюминий
пористый оксид алюминия
наноэлектронные устройства
Issue Date: 2004
Publisher: БГУИР
Citation: Сокол, В. А. Электрохимическая технология микро- и наноэлектронных устройств / В. А. Сокол // Доклады БГУИР. - 2004. - № 3 (7). - С. 18 - 26.
Abstract: Приведены результаты работ по созданию электрохимической технологии микро- и нано- электронных устройств, в основном гибридных интегральных микросхем и многокристаль- ных модулей. Рассмотрены технологии алюминиевых оснований, многоуровневых систем межсоединений и алюминиевых корпусов для ГИС и СБИС. Представлены результаты ра- бот по созданию электрохимической технологии изготовления наноэлектронных устройств, таких, как матричные управляемые автоэмиссионные катоды и транзисторы, работающие на основе квантового эффекта одноэлектронного переноса.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30739
Appears in Collections:№3 (7)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Sokol_Electrochemical.pdf690,86 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.