| Название: | Особенности роста пористого оксида алюминия |
| Другие названия: | Features of growth of porous aluminium oxide |
| Авторы: | Сокол, В. А. |
| Ключевые слова: | доклады БГУИР;анодирование;пористый оксид;алюминий;микроэлектроника |
| Дата публикации: | 2003 |
| Издательство: | БГУИР |
| Описание: | Сокол, В. А. Особенности роста пористого оксида алюминия / В. А. Сокол // Доклады БГУИР. - 2003. - № 1. - С. 75 - 82. |
| Аннотация: | Представлены результаты теоретических и экспериментальных исследований процесса
зарождения и роста пористого оксида алюминия, широко используемого в технологии
изготовления алюминиевых оснований, многоуровневой системы межсоединений и
алюминиевых корпусов микроэлектронных многокристальных модулей. |
| Аннотация на другом языке: | The results of theoretical and experimental investigations of origin processes and growth of porous aluminium oxide widely used in the technology of aluminium bases, of multilevel system of interconnection and aluminium packages of microelectronic multichip modules manufacturing are presented. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30789 |
| Располагается в коллекциях: | №1
|
