Исследование процесса термолиза пленкообразующих дихлордиэтилата и дихлордибутилата Ti (IV)

Abstract

Методами термического анализа, ИК-спектроскопии и рентгенофазового анализа изучен процесс термолиза TiCl2(OC2H5)2 и TiCl2(OC4H9)2 в широком температурном интервале. Показано, что термолиз этих соединений протекает по механизму реакции поликонденса-ции с образованием промежуточной аморфной фазы, близкой по своему химическому составу к TiO2. При температуре, близкой к 400°С, происходит превращение аморфной фазы в анатазную модификацию TiO2. Процесс поликонденсации является многоступенчатым. На основании проведенного исследования даны рекомендации технологического характера для получения пленок TiO2 различной кристаллической модификации.