https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30958
Название: | Цветовая диагностика топографических дефектов |
Другие названия: | Colour diagnostics of topographical defects |
Авторы: | Сенько, С. Ф. Сенько, А. С. |
Ключевые слова: | доклады БГУИР;оптическая топография;компьютерная диагностика;метод деления цвета |
Дата публикации: | 2003 |
Издательство: | БГУИР |
Описание: | Сенько, С. Ф. Цветовая диагностика топографических дефектов / С. Ф. Сенько, А. С. Сенько // Доклады БГУИР. - 2003. - № 2. - С. 103 - 106. |
Аннотация: | Установлена зависимость между параметрами топографических дефектов поверхности полупроводниковых пластин и интенсивностью их изображения на топограммах. Предложены критерии и разработана методика количественной оценки топографических несовершенств поверхности, позволяющая проводить быструю сортировку полупроводниковых пластин по группам качества. Показано, что использование метода цветового деления позволяет значительно упростить процесс контроля и повысить его информативность. |
Аннотация на другом языке: | The dependence between parameters of topographical surface imperfections of semiconducting slices and intensity of their image on topograms is established. The criterions are offered and the technique of a quantitative evaluation of topographical imperfections of a surface permitting to conduct quick sort of semiconducting slices on groups of quality is developed. It is shown that the use of the method of colour division allows to simplify considerably the process of control and to increase its Informativity. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/30958 |
Располагается в коллекциях: | №2 |
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Senko_Tsvetovaya.pdf | 359.63 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.