| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Мельников, С. Н. | - |
| dc.contributor.author | Кундас, С. П. | - |
| dc.contributor.author | Свадковский, И. В. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-04-27T08:29:49Z | - |
| dc.date.available | 2018-04-27T08:29:49Z | - |
| dc.date.issued | 2007 | - |
| dc.identifier.citation | Мельников, С. Н. Моделирование и численные исследования параметров магнетронных распылительных систем / С. Н. Мельников, С. П. Кундас, И. В. Свадковский // Доклады БГУИР. - 2007. - № 3 (19). - С. 80 - 87. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31218 | - |
| dc.description.abstract | Представлены результаты моделирования нескольких типов магнетронных распылительных
систем. Методом сравнительного анализа конфигураций магнитных полей определены параметры, которые могут служить критериями степени несбалансированности. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | магнетрон | ru_RU |
| dc.subject | моделирование | ru_RU |
| dc.subject | коэффициенты несбалансированности | ru_RU |
| dc.title | Моделирование и численные исследования параметров магнетронных распылительных систем | ru_RU |
| dc.title.alternative | Simulation and numerical research parameters of magnetron sputtering systems | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| local.description.annotation | Introduced results of simulation a few types magnetron sputtering systems. Сomparative
analysis configuration of the magnetic field allow to determine parameters, that can be used for crite-
rion of unbalance degree. | - |
| Appears in Collections: | №3 (19)
|
