https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31335| Title: | Структурные превращения в кремнии и оценка остаточной деформации при ионной имплантации примеси |
| Other Titles: | Structural modifications in the silicon and estimate deformation during ion implantation |
| Authors: | Квасов, Н. Т. Сологуб, Л. В. |
| Keywords: | доклады БГУИР;напряженно-деформированное состояние;дефектно-примесная система;ультразвуковая волна;деформация решетки;доза легирования;дислокационные конфигурации;диссипация |
| Issue Date: | 2008 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Квасов, Н. Т. Структурные превращения в кремнии и оценка остаточной деформации при ионной имплантации примеси / Н. Т. Квасов, Л. В. Сологуб // Доклады БГУИР. - 2008. - № 1 (31).- С. 82 - 86. |
| Abstract: | Рассмотрены физические основы и применение неразрушающего метода линзовой акустической микроскопии для оценки остаточной деформации в решетке кремния при радиационном облучении, а также механизмы диссипации энергии волны, получена формула расчета деформации кристаллической решетки, модельно представлены этапы структурных изменений в кремнии в результате ионной имплантации примеси. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31335 |
| Appears in Collections: | №1 (31) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Kvasov_Structural.pdf | 610.67 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.