Skip navigation
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31438
Название: Создание и управление системой стабильных самоорганизующихся наноразмерных кластеров германия и твердого раствора Si-Ge
Авторы: Ковалевский, А. А.
Строгова, А. С.
Кузнецов, Д. Ф.
Воронец, Я. С.
Ключевые слова: материалы конференций
химическое осаждение
моносилан
наноструктурированные пленки
нанокластеры
силан
дисилан
трисилан
Дата публикации: 2018
Издательство: БГУИР
Библиографическое описание: Создание и управление системой стабильных самоорганизующихся наноразмерных кластеров германия и твердого раствора Si-Ge / А. А. Ковалевский и др. // BIG DATA Advanced Analytics: collection of materials of the fourth international scientific and practical conference, Minsk, Belarus, May 3 – 4, 2018 / editorial board: М. Batura [etc.]. – Minsk, BSUIR, 2018. – Р. 187 – 192.
Краткий осмотр (реферат): Важным параметром создание и получение наноструктурированных пленок это выбор компонентов. Дисилан и трисилан имея слабые связи, из-за которых происходит развал молекул с образование активных радикалов SiH2 обеспечивает формирование супертонких наноструктурированных пленок с малым размером кристаллитов (<100 нм). Установлено, что с точки зрения молекулярно-кинетических свойств радикалы силен (SiH2) и гермен (GeH2) являются самыми эффективным переносчиками кремния и германия к подложке, на которой происходит формирование структурных элементов супертонких пленок поликристаллического кремния.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31438
Располагается в коллекциях:Публикации 4

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Kovalevskiy_Sozdaniye.PDF808,21 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.