Массивы углеродных нанотрубок синтезированные в шаблоне из тонкого пористого оксида алюминия

Abstract

Рассматриваются вертикально ориентированные углеродные нанотрубки (УНТ) синтезированные с использованием шаблона из тонкого пористого анодного оксида алюминия (ПАОА). Исходная тонкопленочная структура состоит из электродного слоя (пленка титана) и основного слоя (пленка алюминия) на кремниевой подложке. Наночастицы катализатора с размерами 15±5 нм были сформированы электрохимическим осаждением Ni в поры ПАОА на переменном токе. В каждой поре диаметром 70±5 нм с наноразмерными частицами катализатора образуется одна УНТ диаметром (15±5 нм). Длина УНТ превышает 1 мкм, расстояние между ними – 110±5 нм. Полученные наноструктуры могут быть использованы при изготовлении УНТ-сенсоров и наноэлектронных устройств с высокой плотностью упаковки элементов.