https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31651| Title: | Термостабильные микрорезисторы, изготовляемые по электрохимической технологии |
| Authors: | Мозалев, А. М. Горох, Г. Г. Сурганов, А. В. Плиговка, А. В. |
| Keywords: | публикации ученых;термостабильность;вентильные металлы;микрорезистор;анодирование;микрочипы |
| Issue Date: | 2004 |
| Publisher: | Национальная академия наук Беларуси |
| Citation: | Термостабильные микрорезисторы, изготовляемые по электрохимической технологии / А. М. Мозалев и другие // Наноструктурные материалы - 2004: Беларусь - Россия: материалы III Междунар. семинара, Минск, 12-15 октября 2004 г. - Минск: Институт тепло- и массообмена им. А. В. Лыкова НАН Беларуси, 2004. - С. 254 - 255. |
| Abstract: | Наиболее сложной и ответственной частью технологического маршрута изготовления гибридной интегральной микросхемы или многокристального модуля спецназначения является формирование высокоомных микрорезисторов с подгоняемыми параметрами и удовлетворительной термостабильностью. Известно ограниченное число материалов (дорогих, малодоступных и низко технологичных) и методов синтеза из них тонкопленочных резистивных покрытий (ТРП) с величиной поверхностного сопротивления R, не менее 1 кОм/кВ и температурным коэффициентом сопротивления ТКС не хуже 2,0x10"4 К'1. Максимальную трудность представляет одновременное воспроизведение больших величин Rs и низких ТКС вследствие различий их коэффициентов связи как функции вида материала, условий и метода получения ТРП. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31651 |
| Appears in Collections: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Mozalev_Termostabilnyye.pdf | 65.97 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.