Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31658
Title: R, С элементы интегральных микросхем на основе наноструктурных вентильных металлов и композиционных металлоксидов
Authors: Мозалев, А. М.
Плиговка, А. Н.
Keywords: публикации ученых
интегральные микросхемы
вентильные металлы
композиционные металлоксиды
тонкопленочные элементы
наноструктурированных пленок
Issue Date: 2008
Publisher: Белорусская наука, Беларусь
Citation: Мозалев, А. М. R, С элементы интегральных микросхем на основе наноструктурных вентильных металлов и композиционных металлоксидов / А. М. Мозалев, А. Н. Плиговка // Первая международная конференция "Наноструктурные материалы - 2008: Беларусь - Россия - Украина", Минск, 22-25 апреля 2008 г. / Национальная академия наук Беларуси, Российская академия наук, Министерство образования Республики Беларусь,Национальная академия наук Украины, РФФИ, Государственный фонд фундаментальных исследований Украины. – Минск, 2008. - С. 536.
Abstract: В данной работе с помощью методов электрохимического анодирования тонкопленочной системы из алюминия и тантала (Al/Та) синтезированы массивы многослойных проводниковых и диэлектрических наноструктур, которые затем использованы для создания высокоомных термостабильных электрорезистивных слоев, высококачественных нанокомпозиционных диэлектриков и низкоомных токоведущих проводников. Улучшенные характеристики R, С элементов на основе анодированных систем Al/Та достигаются благодаря низкоразмерной периодической структуризации пленок Та в диапазоне от 300 до 5 нанометров и уникальному химическому составу нанокомпозиционных металлоксидных диэлектриков.
URI: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31658
Appears in Collections:Публикации в изданиях Республики Беларусь

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Mozalev_R.pdf28,96 kBAdobe PDFView/Open
Show full item record


Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.