https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31658
Название: | R, С элементы интегральных микросхем на основе наноструктурных вентильных металлов и композиционных металлоксидов |
Авторы: | Мозалев, А. М. Плиговка, А. Н. |
Ключевые слова: | публикации ученых;интегральные микросхемы;вентильные металлы;композиционные металлоксиды;тонкопленочные элементы;наноструктурированных пленок |
Дата публикации: | 2008 |
Издательство: | Белорусская наука |
Описание: | Мозалев, А. М. R, С элементы интегральных микросхем на основе наноструктурных вентильных металлов и композиционных металлоксидов / А. М. Мозалев, А. Н. Плиговка // Первая международная конференция "Наноструктурные материалы - 2008: Беларусь - Россия - Украина", Минск, 22-25 апреля 2008 г. / Национальная академия наук Беларуси, Российская академия наук, Министерство образования Республики Беларусь,Национальная академия наук Украины, РФФИ, Государственный фонд фундаментальных исследований Украины. – Минск, 2008. - С. 536. |
Аннотация: | В данной работе с помощью методов электрохимического анодирования тонкопленочной системы из алюминия и тантала (Al/Та) синтезированы массивы многослойных проводниковых и диэлектрических наноструктур, которые затем использованы для создания высокоомных термостабильных электрорезистивных слоев, высококачественных нанокомпозиционных диэлектриков и низкоомных токоведущих проводников. Улучшенные характеристики R, С элементов на основе анодированных систем Al/Та достигаются благодаря низкоразмерной периодической структуризации пленок Та в диапазоне от 300 до 5 нанометров и уникальному химическому составу нанокомпозиционных металлоксидных диэлектриков. |
URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31658 |
Располагается в коллекциях: | Публикации в изданиях Республики Беларусь |
Файл | Описание | Размер | Формат | |
---|---|---|---|---|
Mozalev_R.pdf | 28.96 kB | Adobe PDF | Открыть |
Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.