https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31787| Title: | Наноструктурные свойства тонких пленок ниобия |
| Other Titles: | Nanostructure properties of niobium thin films |
| Authors: | Циркунова, Н. Г. Лазарук, С. К. Ухов, В. А. Борисенко, В. Е. |
| Keywords: | доклады БГУИР;атомно-силовая микроскопия;модификация поверхности;параметры поверхности |
| Issue Date: | 2008 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Наноструктурные свойства тонких пленок ниобия / Н. Г. Циркунова и другие // Доклады БГУИР. - 2008. - № 4 (34). - С. 48 - 53. |
| Abstract: | Исследованы структурные изменения тонких пленок ниобия, нанесенных магнетронным распылением; определена их пригодность для формирования наноразмерных структур с помощью атомного силового микроскопа (АСМ). Изучены структурные изменения в ниобиевых пленках, вызванные примесью железа (10 ат.%). Установлено, что в пределах толщин пленки 15–200 нм этот параметр существенно влияет на зернистость и шероховатость поверхности в отличие от чистых пленок. Показано, что основным ограничением в использовании ниобиевых пленок для формирования наноструктур является образование пленки естественного окисла на их поверхности после извлечения из вакуумной камеры. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/31787 |
| Appears in Collections: | №4 (34) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Tsirkunova_Nanostructure.PDF | 476.67 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.