Skip navigation
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32186
Название: Nanomaterials for optical microelectromechanical system technology
Авторы: Timoshkov, Yu. V.
Timoshkov, V. Yu.
Frolov, A. Y.
Kurmashev, V. I.
Ключевые слова: доклады БГУИР
microrelief
microelectromechanical systems (MEMS)
codeposition
Дата публикации: 2008
Издательство: БГУИР
Библиографическое описание: Nanomaterials for optical microelectromechanical system technology / Yu. V. Timoshkov and others // Доклады БГУИР. - 2008. - № 5 (35). - С. 104 - 108.
Краткий осмотр (реферат): The research is focused on the nanostructured materials processing and their application in microelectromechanical systems (MEMS), in general, and optical MEMS, in particular. In the frame­work of LIGA-like (Lithografie, Galvanoformung, Abforming) technology, anode and cathode cost effective technologies are developed. One of approaches to solve the fundamental problem of friction and wear of MEMS elements is application of the composite materials, in particular, cath­ ode codeposited metal and alloy with inert hard particles by electroless or electrochemical processes. Wear resistance of elements increased in 2-2.5 times, microhardness increased in 2 times, coefficient of friction and corrosion current were reduced by factor 1.5 and 1.6 respectively. Application of composite materials for moveable microelement with high reliability is the only way for real MEMS development. Anodic processes of aluminum and silicon anodizing result in nanopore structure. Anisotropy of the pores determines the unique properties of the films during chemical selective etching and provides aspect ratio up to 50 for MEMS microstructures.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32186
Располагается в коллекциях:№5 (35)

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Timoshkov_Nanomaterials.PDF269,4 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.