https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32906| Title: | Вакуумно-плазменные системы двухчастотных разрядов для технологического применения |
| Authors: | Хамицевич, Е. Ю. Лушакова, М. С. |
| Keywords: | материалы конференций;двухчастотная емкостно-связанная плазма;вакуумно-плазменные системы |
| Issue Date: | 2018 |
| Publisher: | БГУИР |
| Citation: | Хамицевич, Е. Ю. Вакуумно-плазменные системы двухчастотных разрядов для технологического применения / Е. Ю. Хамицевич, М. С. Лушакова // Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем: сборник тезисов 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов, Минск, 23–27 апреля 2018 г. / Белорусский государственный университет информатики и радиоэлектроники ; отв. ред. Раднёнок А. Л. – Минск, 2018. – С. 194 - 195. |
| Abstract: | Двухчастотная емкостно-связанная плазма интенсивно изучается как экспериментально, так и теоретически в целях применения технологии для анизотропного и селективного травления материалов с высокими скоростями. |
| URI: | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/32906 |
| Appears in Collections: | Компьютерное проектирование и технология производства электронных систем : материалы 54-ой научной конференции аспирантов, магистрантов и студентов (2018) |
| File | Description | Size | Format | |
|---|---|---|---|---|
| Khamitsevich_Vakuumno.pdf | 443.72 kB | Adobe PDF | View/Open |
Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.