Skip navigation
Please use this identifier to cite or link to this item: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33234
Full metadata record
DC FieldValueLanguage
dc.contributor.authorПетров, А. В.-
dc.contributor.authorГурский, Л. И.-
dc.contributor.authorКаланда, Н. А.-
dc.contributor.authorТелеш, Е. В.-
dc.contributor.authorМинин, К. А.-
dc.date.accessioned2018-10-18T11:22:06Z-
dc.date.available2018-10-18T11:22:06Z-
dc.date.issued2010-
dc.identifier.citationФормирование структур PbZr0,54Ti0,46O3 в треках быстрых тяжелых ионов / А. В. Петров и др. // Доклады БГУИР. - 2010. - № 3 (49). - С. 62 - 67.ru_RU
dc.identifier.urihttps://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33234-
dc.description.abstractРассматриваются особенности создания нанокластеров PbZr0,54Ti0,46O3 в протравленных треках быстрых тяжелых ионов, сформированных в тонких слоях SiO2 на подложках монокристаллического кремния ориентации (100). Данная методика включает химическое осаждение металлов Pb, Zr и Ti в ионные треки, полученные облучением структуры Si/SiO2 ионами 197Au26+ с энергией 350 МэВ и флюенсом 5Ч108 см–2 с последующим отжигом при температуре Тотж=550єC и давлении кислорода pO2=2Ч105 Па. Параметры отжига структуры Si/SiO2 (PbZr0,54Ti0,46O3) были определены благодаря оптимизации процесса термообработки пленочных структур идентичного состава, напыленных ионно-лучевым методом на подложки Si/SiO2. Структурные особенности формирования нанокластеров PbZr0,54Ti0,46O3 выявлены с помощью рентгеновской фотоэмиссионной спектроскопии.ru_RU
dc.language.isoruru_RU
dc.publisherБГУИРru_RU
dc.subjectдоклады БГУИРru_RU
dc.subjectтреки быстрых тяжелых ионовru_RU
dc.subjectнанопорыru_RU
dc.subjectдиоксид кремнияru_RU
dc.subjectцирконат- титанат свинцаru_RU
dc.subjectнанокластерыru_RU
dc.subjectдиэлектрическая фазаru_RU
dc.titleФормирование структур PbZr0,54Ti0,46O3 в треках быстрых тяжелых ионовru_RU
dc.title.alternativeFormation of PbZr0,54Ti0,46O3 structures in swift heavy ion tracksru_RU
dc.typeСтатьяru_RU
local.description.annotationA methodology of formation of PbZr0,54Ti0,46O3 nanoclusters in etched swift heavy ion tracks formed in SiO2 thin layers on single-crystalline (100) silicon substrates is developed in the present work. This methodology includes chemical deposition of Pb, Zr and Ti metals in the ion tracks obtained by irradiation of Si/SiO2 structure by ионами 197Au26+ ions with energy 350 MeV and fluence 5Ч108 cm–2 and their subsequent annealing at T=550єС and oxygen pressure pO2=2Ч105 Pа. Annealing parameters of the Si/SiO2 (PbZr0,54Ti0,46O3) structure were determined due to optimization of thermal treatment of thin-film structures having an identical composition, which have been sputtered on Si/SiO2 substrates. Characteristic features of PbZr0,54Ti0,46O3 nanocluster structure formation process are revealed by means of the X-ray photoemission spectroscopy.-
Appears in Collections:№3 (49)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Petrov_Formation.PDF432.34 kBAdobe PDFView/Open
Show simple item record Google Scholar

Items in DSpace are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.