Skip navigation
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33239
Название: Исследование свойств тонких пленок ниобия для формирования столбиковых структур
Другие названия: Investigation of properties of thin niobium films for formation of column structures
Авторы: Циркунова, Н. Г.
Лазарук, С. К.
Ухов, В. А.
Борисенко, В. Е.
Tsirkunova, N. G.
Lazarouk, S. K.
Uhov, V. A.
Borisenko, V. E.
Ключевые слова: доклады БГУИР
атомно-силовая микроскопия
модификация поверхности
параметры поверхности
Дата публикации: 2010
Издательство: БГУИР
Библиографическое описание: Исследование свойств тонких пленок ниобия для формирования столбиковых структур / Н. Г. Циркунова и др. // Доклады БГУИР. - 2010. - № 3 (49). - С. 51 - 56.
Краткий осмотр (реферат): Показана возможность формирования наноразмерных столбиковых структур кремния высотой до 1 мкм с использованием в качестве маски при травлении наноструктурированных пленок ниобия толщиной 15–200 нм, а также влияние исходной толщины ниобиевой пленки, наносимой магнетронным распылением, на размер зерна и геометрические размеры островков масочного слоя.This work is oriented on investigation of possibility of formation nanosize column structures on the basis of thin niobium films. Influence of an initial thickness Nb film received by magnetron sputtering, upon the size of grain and the geometrical sizes of islets of mask layer, formed by dispersion is shown. As methods of surface research we used raster electronic microscope and atomic force microscope.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33239
Располагается в коллекциях:№3 (49)

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Tsirkunova_Investigation.PDF568,07 kBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.