| DC Field | Value | Language |
|---|
| dc.contributor.author | Циркунова, Н. Г. | - |
| dc.contributor.author | Лазарук, С. К. | - |
| dc.contributor.author | Ухов, В. А. | - |
| dc.contributor.author | Борисенко, В. Е. | - |
| dc.date.accessioned | 2018-10-18T11:51:00Z | - |
| dc.date.available | 2018-10-18T11:51:00Z | - |
| dc.date.issued | 2010 | - |
| dc.identifier.citation | Исследование свойств тонких пленок ниобия для формирования столбиковых структур / Н. Г. Циркунова и др. // Доклады БГУИР. - 2010. - № 3 (49). - С. 51 - 56. | ru_RU |
| dc.identifier.uri | https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33239 | - |
| dc.description.abstract | Показана возможность формирования наноразмерных столбиковых структур кремния высотой до 1 мкм с использованием в качестве маски при травлении наноструктурированных
пленок ниобия толщиной 15–200 нм, а также влияние исходной толщины ниобиевой пленки, наносимой магнетронным распылением, на размер зерна и геометрические размеры островков масочного слоя. | ru_RU |
| dc.language.iso | ru | ru_RU |
| dc.publisher | БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | доклады БГУИР | ru_RU |
| dc.subject | атомно-силовая микроскопия | ru_RU |
| dc.subject | модификация поверхности | ru_RU |
| dc.subject | параметры поверхности | ru_RU |
| dc.title | Исследование свойств тонких пленок ниобия для формирования столбиковых структур | ru_RU |
| dc.title.alternative | Investigation of properties of thin niobium films for formation of column structures | ru_RU |
| dc.type | Статья | ru_RU |
| local.description.annotation | This work is oriented on investigation of possibility of formation nanosize column structures
on the basis of thin niobium films. Influence of an initial thickness Nb film received by magnetron
sputtering, upon the size of grain and the geometrical sizes of islets of mask layer, formed by dispersion is shown. As methods of surface research we used raster electronic microscope and atomic force
Microscope. | - |
| Appears in Collections: | №3 (49)
|
