Skip navigation
Пожалуйста, используйте этот идентификатор, чтобы цитировать или ссылаться на этот ресурс: https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33395
Название: Технология изготовления КМОП-транзисторов : учеб.-метод. пособие
Авторы: Черных, А. Г.
Мигас, Д. Б.
Лешок, А. А.
Ключевые слова: учебно-методические пособия
КМОП-транзисторы
КМОП-элементы
Дата публикации: 2018
Издательство: БГУИР
Библиографическое описание: Черных, А. Г. Технология изготовления КМОП-транзисторов : учеб.-метод. пособие / А. Г. Черных, Д. Б. Мигас, А. А. Лешок. – Минск : БГУИР, 2018. – 71 с. : ил.
Краткий осмотр (реферат): Рассмотрены конструктивно-технологические особенности изготовления КМОП-транзисторов для ИМС. Определены физические ограничения и ключевые технологические процессы КМОП-элементов с проектными нормами менее 90 нм. Рассмотрены методы формирования КМОП-структур с high-k-диэлектриком и металлическим затвором, а также различные типы многозатворных МОП-транзисторов.
URI (Унифицированный идентификатор ресурса): https://libeldoc.bsuir.by/handle/123456789/33395
ISBN: 978-985-543-430-7.
Располагается в коллекциях:Кафедра микро и наноэлектроники

Файлы этого ресурса:
Файл Описание РазмерФормат 
Chernih_2018.pdf5,22 MBAdobe PDFПросмотреть/Открыть
Показать полное описание ресурса Просмотр статистики


Все ресурсы в архиве электронных ресурсов защищены авторским правом, все права сохранены.